作為半導(dǎo)體溫控領(lǐng)域的專業(yè)力量，普泰克（上海）制冷設(shè)備技術(shù)有限公司聚焦行業(yè)痛點(diǎn)，提供覆蓋前、中、后道全流程的溫控解決方案。

核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

超高精度控溫：普泰克PTS系列高精度冷熱循環(huán)器采用動(dòng)態(tài)PID+模糊控制算法，可實(shí)現(xiàn)±0.01℃～±0.1℃的控溫精度，滿足先進(jìn)制程對(duì)溫度穩(wěn)定性的苛求。

寬溫域與快速響應(yīng)：覆蓋-45℃至300℃的寬溫度范圍，支持快速升降溫，適配光刻、刻蝕、薄膜沉積等不同工藝的差異化需求。

多通道獨(dú)立控溫：針對(duì)刻蝕等多反應(yīng)腔室設(shè)備，提供單通道、雙通道、三通道系列產(chǎn)品，各通道可獨(dú)立設(shè)定溫度，避免工藝交叉干擾。

關(guān)鍵應(yīng)用場(chǎng)景解決方案

高純前驅(qū)體材料溫控：針對(duì)ALD/CVD前驅(qū)體對(duì)溫度極度敏感、懼怕金屬離子污染的特性，普泰克提供PTFE/316L EP超高純流路，支持惰性氣氛吹掃，將控溫精度與材料純度保障提升至新高度。

化學(xué)品及研磨液精準(zhǔn)控溫：刻蝕液、顯影液、CMP研磨液等化學(xué)品的溫度穩(wěn)定性直接影響工藝均勻性。普泰克TLS系列精密冷水機(jī)采用耐腐蝕設(shè)計(jì)（可定制哈氏合金/PTFE流路），防顆粒、防結(jié)晶，保障CMP供液系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

智能化與節(jié)能：采用變頻智能控制技術(shù)，根據(jù)熱負(fù)載精準(zhǔn)調(diào)節(jié)壓縮機(jī)輸出，在滿足制程需求的同時(shí)實(shí)現(xiàn)低能耗；全密閉循環(huán)系統(tǒng)避免油霧異味，延長(zhǎng)導(dǎo)熱液壽命。

結(jié)語(yǔ)

隨著芯片制程向3nm及以下節(jié)點(diǎn)演進(jìn)，溫度控制的精度正邁向±0.01℃級(jí)別。普泰克憑借對(duì)半導(dǎo)體溫控技術(shù)的深刻理解與持續(xù)創(chuàng)新，致力于為行業(yè)提供更精準(zhǔn)、更可靠、更節(jié)能的Chiller解決方案，守護(hù)每一顆芯片的誕生。

普泰克（上海）制冷設(shè)備技術(shù)有限公司
專注半導(dǎo)體溫控，為“芯"制造保駕護(hù)航。